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東莞市晟鼎精密儀器有限公司

行業(yè)案例
致力于為全球用戶(hù)提供等離子表面處理與檢測(cè)整體解決方案
產(chǎn)品系列
致力于為全球用戶(hù)提供等離子表面處理與檢測(cè)整體解決方案
半導(dǎo)體快速退火爐
桌面型半導(dǎo)體快速退火爐

產(chǎn)品特點(diǎn):

紅外鹵素?zé)艄芗訜?,冷卻采用風(fēng)冷;

燈管功率 PID 控溫,可精準(zhǔn)控制溫度升溫,保證良好的重現(xiàn)性與溫度均勻性;

采用平行氣路進(jìn)氣方式,氣體的進(jìn)入口設(shè)置在 WAFER表面,避免退火過(guò)程中冷點(diǎn)產(chǎn)生,保證產(chǎn)品良好的溫度均勻性;

大氣與真空處理方式均可選擇,進(jìn)氣前氣體凈化處理;

標(biāo)配兩組工藝氣體;

微波等離子清洗機(jī)
微波等離子清洗機(jī)

簡(jiǎn)介:

針對(duì)半導(dǎo)體芯片粘接前處理、塑封前處理、光刻膠去除、金屬鍵和前處理。


八大優(yōu)勢(shì):

等離子體不帶電,不會(huì)對(duì)電路造成損害 ▏處理過(guò)程保持較低溫度  

反應(yīng)速度快,反應(yīng)時(shí)間短 ▏無(wú)電極,無(wú)污染源,長(zhǎng)壽命

能在高氣壓下維持等離子體 ▏ 微波結(jié)和磁路可以兼容

自偏壓要求低 ▏高壓源和發(fā)生器互相隔離,安全


等離子去膠機(jī)
ICP干法等離子去膠機(jī)

簡(jiǎn)介:

可BAW/SAW工藝中的光阻去除,配備單腔雙腔兩種類(lèi)型

核心優(yōu)勢(shì):

等離子電離與分解程度較高 ▏等離子處理后,再現(xiàn)性高

能在高氣壓下維持等離子體 ▏高壓源與離子發(fā)生器分離

干法刻蝕,無(wú)污染源 ▏透過(guò)蝶閥控壓、控溫

處理過(guò)程溫度低 ▏反應(yīng)速度快,反應(yīng)時(shí)間短

微波結(jié)和磁路可以兼容 ▏可滿(mǎn)足客戶(hù)要求 

等離子清洗機(jī)
SPV-150真空等離子清洗機(jī)

簡(jiǎn)介:

軍工級(jí)焊接工藝,真空腔體密封性強(qiáng),高密度等離子源,全方位均勻清洗;

適用于面積較大、形狀復(fù)雜的材料處理,可搭配雙路或多路工藝氣體氣體控制穩(wěn)定,高密度等離子源,保證全方位均勻清洗。單次可處理多片/批次材料,處理效率高。根據(jù)行業(yè)需求可定制真空等離子流水線(xiàn)設(shè)備,全自動(dòng)工作,減少人力成本。

接觸角測(cè)量?jī)x
SDC-200S科研型接觸角測(cè)量?jī)x

簡(jiǎn)介:

功能齊全、拓展性能非常高的接觸角測(cè)量?jī)x。

儀器構(gòu)造:

接觸角測(cè)量?jī)x主要由控制系統(tǒng)、注射系統(tǒng)、三軸移動(dòng)樣品臺(tái)視頻采集系統(tǒng)、分析軟件五大部分組成,設(shè)備采用光學(xué)投影的原理。

USC干式超聲波除塵
USC顯示屏干式超聲波除塵

簡(jiǎn)介:

3μm塵粒97%的清除率,6μm塵粒98%的清除率

超聲波干式除塵設(shè)備(Ultrasonic Dry Cleaner),通過(guò)鼓風(fēng)機(jī),給除塵頭的超聲波發(fā)生腔提供8-16Kpa的潔凈氣體,氣體通過(guò)超聲波發(fā)生器產(chǎn)生超聲波,利用超聲波傳播的能量及振動(dòng),使塵??朔AЩ灞砻娴恼掣搅?,以拉升、滾動(dòng)及滑動(dòng)三種運(yùn)動(dòng)方式(單一或混合)從玻璃基板表面脫離,使得塵粒從玻璃基板表面分離出來(lái)。

我們服務(wù)
貼心服務(wù) 售后無(wú)憂(yōu)
晟鼎精密
/致力于為全球用戶(hù)提供等離子表面處理與檢測(cè)整體解決方案

晟鼎半導(dǎo)體是晟鼎股份旗下分公司,總部晟鼎股份成立于2012年,是一家集研發(fā)、設(shè)計(jì)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售及產(chǎn)業(yè)鏈服務(wù)為一體的國(guó)家級(jí)高新技術(shù)企業(yè),致力于為廣大客戶(hù)提供表面性能處理以及檢測(cè)整體解決方案。研發(fā)團(tuán)隊(duì)成員以多年從事工業(yè)自動(dòng)化等領(lǐng)域的博士、碩士和學(xué)士為主,本科學(xué)歷以上占比50%。

核心產(chǎn)品有RTP快速退火爐、等離子去膠機(jī)、微波等離子清洗機(jī)、大氣等離子清洗機(jī)、寬幅等離子清洗機(jī)、真空等離子清洗機(jī)、接觸角測(cè)量?jī)x、USC干式超聲波除塵清洗機(jī)、離子除靜電裝置等,目前已大批量用于半導(dǎo)體制造、3C消費(fèi)電子、新能源、顯示等行業(yè),獲得了全球知名制造商的高度認(rèn)可...

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